下面我們來了解下VMS3020影像儀的誤差來源。

　　在VMS3020影像儀上的測量均是單軸或二維平面坐標的測量，測量時先對焦，后對準，再讀數(計數)，后計算處理。讀數來自于標尺即光柵系統，對焦對準依靠顯微鏡光學系統，還有一個直接影響測量效果和精度的照明光源，因為，基于影像方法測量的儀器，如果被測件不能被有效正確的照明，則測量的結果顯然要偏離其真實尺寸。

　　除上述因素外，環境條件也是制約測量精度不可忽視的因素。基于上述分析，可以歸納出VMS3020影像儀誤差來源于以下幾個方面：

　　1、光柵計數尺的誤差；

　　2、工作臺移動時存在的直線度、角擺帶來的誤差；

　　3、工作臺兩測量軸垂直度帶了的誤差；

　　4、顯微鏡光軸與工作臺面不垂直帶了的誤差；

　　5、測量室溫度帶來的誤差；

　　6、光源照明條件的變化帶來的對焦和對準誤差。

　　在這幾種因素中，前四項誤差，是硬件誤差，在儀器制造過程中已經形成并固定下來。一般無法改變；溫度影響帶來的誤差，通過控制測量室的溫度和等溫過程來減小其影響。后一項則常被忽視，而在實際測量中，當光源照明條件改變時，直接影響被測工件的照明效果和影像質量，主要是因為VMS3020影像儀的圖像是通過CCD接收，盡管CCD具有自動調節增益的功能，但當亮度過大時即失去調節功能，導致被測工件影像在縮小，當亮度過低時，工件影像反而變大。